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AmericanBoss 发布于2020-05-16 17:31
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如何制作EUV光刻机?

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想了解一下
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sageivy 发布于2020-06-27 14:15
沙发F
看了一些资料,门槛在于,钱,人才,镜头,光源,机械精度,传感器的精度
3万个零件都要是可靠的高精度的。
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sageivy 发布于2020-06-27 14:54
板凳F
相当于两架飞机同时起飞的,一个飞机上发出一束光,在另一架飞机上嵌的一粒米上刻5nm粗的字
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