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如何制作EUV光刻机?
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2020-05-30
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AmericanBoss
发布于
2020-05-16 17:31
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如何制作EUV光刻机?
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只看楼主
楼层直达
请先填写楼层^^楼层应该是数字,亲!^^Sorry,没有 ^^ 层
楼
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sageivy
发布于
2020-06-27 14:15
沙发
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看了一些资料,门槛在于,钱,人才,镜头,光源,机械精度,传感器的精度
3万个零件都要是可靠的高精度的。
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sageivy
发布于
2020-06-27 14:54
板凳
F
相当于两架飞机同时起飞的,一个飞机上发出一束光,在另一架飞机上嵌的一粒米上刻5nm粗的字
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