AmericanBoss
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AmericanBoss 发布于2020-05-16 17:31
2/773

如何制作EUV光刻机？

只看楼主
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楼
想了解一下
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sageivy
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sageivy 发布于2020-06-27 14:15
沙发F
看了一些资料，门槛在于，钱，人才，镜头，光源，机械精度，传感器的精度
3万个零件都要是可靠的高精度的。
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sageivy
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sageivy 发布于2020-06-27 14:54
板凳F
相当于两架飞机同时起飞的，一个飞机上发出一束光，在另一架飞机上嵌的一粒米上刻5nm粗的字
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